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机译:氧等离子体对等离子体增强化学气相沉积系统生长的单壁碳纳米管场发射特性的影响
机译:在大气压下远程等离子体增强氮化硅的化学气相沉积
机译:远程等离子体增强化学气相沉积过程中氮化膜的紫外线调节
机译:等离子增强化学气相沉积(PECVD)系统的设计和实现,该系统用于研究碳60聚合物复合薄膜和表面功能化对碳60的影响
机译:使用等离子增强化学气相沉积法在SiO2上生长的大面积纳米晶石墨膜(NCG)上的数据集
机译:远程等离子体增强激光诱导化学气相沉积法生长的GaN的光学和结构分析
机译:使用Inline mW RpECVD(microWave远程等离子体增强化学气相沉积)系统进行连续siN(sub x)等离子体处理